半導体ウェハの微細パターン

HALCON / Deep Learning / Machine Vision / Inspection Software

HALCONとAIで、外観検査ソフトを量産現場へ。

カトーテック合同会社は、MVTec HALCONを活用した画像処理ソフトウェア開発を中心に、Deep Learningを組み合わせた外観検査アプリケーションを設計します。HDevelopでの検証から、C++ / C#などの装置アプリケーションへの組込み、撮像条件、UI、PLC・設備連携まで、現場で使える検査ソフトとして仕上げます。

HALCONの豊富な画像処理を、検査装置で動くソフトウェアへ。

HALCONは、多数の画像処理オペレーター、外観検査、形状ベースマッチング、OCR・コード読取、3D、Deep Learningまでを備えたマシンビジョン開発環境です。カトーテックでは、その機能を単なる評価コードで終わらせず、検査対象・撮像条件・処理時間・操作性に合わせて、量産現場で扱いやすいアプリケーションへ落とし込みます。

ルールベース画像処理

フィルタリング、領域抽出、エッジ・XLD、ブロブ解析、モフォロジー、計測などを組み合わせ、検査対象に合わせた安定した前処理と判定ロジックを設計します。

AI・Deep Learning検査

従来のしきい値処理では切り分けにくい外観差、個体差、背景変動に対して、画像分類、欠陥検出、異常検知、AIオブジェクト検出を組み合わせます。

装置組込みソフト

HDevelopで検証したアルゴリズムを、C++ / C#ベースの検査アプリケーションへ展開し、カメラ、照明、PLC、検査結果DB、操作画面と連携させます。

微細欠陥を、画像処理とAIで安定して検出する。

外観検査では、アルゴリズムだけでなく、撮像条件、照明、レンズ、搬送ばらつき、品種差、現場での再調整性まで含めた設計が必要です。カトーテックはHALCONとDeep Learningを活用し、見える画像を「判定できるデータ」へ変換します。

  • 微小欠陥や淡いコントラスト差に合わせた前処理・特徴抽出・しきい値設計
  • 回転、縮尺、位置ずれ、反射、コントラスト変動に強い形状ベースマッチング
  • 少量データからの学習検証、データ拡張、AI判定結果の可視化と再学習フロー
  • OCR、Deep OCR、2Dコード読取、検査結果保存、トレーサビリティまで含めた実装
電子基板と画像処理ソフト開発のイメージ
検査アプリケーション画面

開発テーマ

既存装置への組込み、新規検査装置のソフト設計、検査アルゴリズムの改善、AI判定の導入など、HALCONとDeep Learningを中心にした検査ソフトウェア開発を行います。

半導体ウェハ検査のイメージ

半導体・ディスプレイ向け検査

ウェハ、基板、ガラス、ディスプレイパネルなど、微細欠陥や外観変化を扱う検査ソフトをテーマに開発します。

検査アプリケーション画面

AI検査アプリケーション開発

操作画面、レシピ管理、AI判定結果表示、画像保存、学習用データ蓄積、再判定、トレーサビリティに対応します。

自動化設備と装置連携のイメージ

撮像・装置連携

ラインスキャン、エリアカメラ、照明、ステージ、PLCなど、検査装置に必要な周辺制御との連携を設計します。

基板パターンと画像処理のイメージ

既存ソフトへのAI追加

過検出、見逃し、処理速度、品種追加、AI改善に加え、ルールベース検査では難しい判定へAI処理を追加します。

HALCON開発で重視すること

検査ソフトは、検出できるだけでは不十分です。現場で条件を変更できること、結果を確認しやすいこと、品種追加や再学習に対応できること、装置停止時の原因を追えることまで含めて、長く使える仕組みにする必要があります。

評価から実装まで一貫

HDevelopでのアルゴリズム検証、サンプル画像評価、処理時間確認、アプリケーション組込みまでを一体で進めます。

調整しやすい検査条件

しきい値、マッチング、計測、AI判定しきい値、保存条件をレシピ化し、現場で管理しやすい構成にします。

AI運用を見据えた設計

学習画像の収集、NG分類、判定根拠の確認、再学習データの蓄積まで、導入後の改善サイクルを考慮します。

HALCON・AI画像処理ソフトの開発をご相談ください。

半導体・ディスプレイ分野の外観検査、Deep Learningによる欠陥分類、既存検査装置のソフト改修、新規検査アプリケーション開発まで対応します。