TDIラインスキャンカメラ採用圧痕検査装置
装置概要
中型ガラスパネル圧痕検査機（以下、本装置）は、以下の機能を有します。
本装置は、投入されたガラスパネル（1”～32”）に対し、TDIランスキャンカメラを用い、パネルに圧着されたIC/COFとの接合部を撮影し、画像処理をおこない、位置ズレ、導電粒子の粒子数、異物などの検出を行います。検査結果の数値とNG閾値を比較し、パネルのOK・NG判定を実施します。
※適応パネルサイズはカスタマイズにより決定されます。
装置名
Akkon Inspection Machine AKG1 シリーズ
装置特徴
- TDIラインスキャンカメラによる高速高精細撮像により「全エリア」の高速撮像を可能にし、弊社独自の高速処理画像検査ソフトと併せて高速高精度な検査を可能にします。
※全エリア検査とは、IC/COF等とパネルのACF接合部全範囲を検査するものです。 - TDIラインスキャンカメラの高速撮像に追従可能な同軸レーザーオートフォーカス ( サンプリングレート最大5KHz ) 機能を装備。コンパクトな稼動部と相まって高速追従を可能にし、極薄ガラスパネルの歪みに関わらず、鮮明な画像を取り込むことが可能です。
- 検査ユニットおよび検査ステージ部分を独立構造とし、外部振動を遮断し精度の高い検査を実現します。
- 検査ステージおよびカメラ数をカスタマイズ可能となっており、生産ラインの搬送枚数およびタクトタイムの要求に応じた処理能力を持たせることが可能です。
装置基本規格
装置基本操作フロー（参考）
裝置検査規格
検査対象
LCD PANEL
適用パネルサイズ 8″～32” ( 8″～15” / 15″～32” 等カスタマイズ可 )
適用ガラス厚さ 0.1～1.2mm
- ICサイズ 最大40mm(L)
- COFサイズ 最大80mm(L)
処理能力
- パネルサイズやIC/COF数に応じてタクトタイムが変わります。
- 抜取り検査、循環検査、検査パスのモードを選択可能、タクトタイムに応じた検査方法が可能です。
※要求に応じたカスタマイズが可能です。
検査項目
- IC/COFとガラスパネルのリード内導電粒子分布のずれ量（ 左/右/中央、X/Y方向 ）
- ガラスパネルのリード内導電粒子数のカウント（ 最小/平均値 ）
- 異物の混入・パターン内の傷。
- 圧痕の強度。
カメラユニット構成
- 検査用ラインスキャンカメラユニット1台または2台。
- パネルアライメント用カメラユニット1台または2台。( タクト要求により選択 )
カメラユニット光学系仕様
検査カメラユニット
| カメラ部 | |
| カメラ種別 | DALSA社製 8K TDI カメラ |
| 光学倍率 | 10倍±5% |
| 光学ユニット | DICプリズム微分干渉光学系 |
| センサーピクセル数 | 8192×128 |
| センサーサイズ | 5μm/pix |
| 解像度 | 0.5μm × 0.5μm |
| スキャン速度 | 50mm/sec ( 標準 ) ～ 150mm/sec ( 最大 ) |
| オートフォーカス部 | |
| オートフォーカス方式 | 同軸レーザーフォーカス |
| サンプリングレート | 5KHz ( 最大 ) |
| 分解能 | 0,.1μm |
| ストローク | 6mm |
| 検査軸駆動部 | |
| モーター | リニアサーボモーター |
| 速度 | 2000mm/sec ( 最大 ) |
| 分解能 | 1μm |
| 繰返し位置決め精度 | ±1μm |
| 照明部 | |
| 方式 | 同軸照明 |
| 光源 | LED緑色 |
パネルアライメントカメラユニット
| カメラ部 | |
| カメラ種別 | BASLER社製 白黒CCD カメラ |
| 光学倍率 | 1倍±5% |
| 光学ユニット | 単焦点レンズ |
| センサーピクセル数 | 1600×1200 |
| センサーサイズ | 4.5μm × 4.5μm/pix |
| 解像度 | 4.5μm × 4.5μm |
| フレームレート | 60 fps |
| アライメント軸駆動部 | |
| モーター | リニアサーボモーター |
| 速度 | 2000mm/sec ( 最大 ) |
| 分解能 | 1μm |
| 繰返し位置決め精度 | ±1μm |
| 照明部 | |
| 方式 | 議事同軸照明 |
| 光源 | LED赤色 |
検査精度
- 電粒子数のカウント
リード内の圧痕数 ≦ 10個の場合：±1個以内
リード内の圧痕数 < 11個の場合：Max – Min ≦ Average × 15%
※変動係数 ( σ/Average )で表すと平均10%以内を指針とする。
- 導電粒子分布ズレ：3σ(99.7％) ±0.5μm ( サンプル数30の場合 )
- アライメントマークズレ：：3σ(99.7％) ±1.0μm
※アライメントマークが不鮮明な場合は 3σ(99.7％) ±1.5μmになる場合があります。
繰返測定正確度 (Accuracy)・・10回の繰返検査試験平均値と顕微鏡検査（3人平均）との比較
裝置構成
制御PC
- PC/AT互換ワークステーション向け高性能パソコン ( 1台または2台 )
- 入出力仕様
デジタル画像入力ボード
GigEカメラ接続
4軸モーションコントロールボード
イーサネット通信 ( PLCコミュニケーション )
デジタルIOボード ( 照明制御用 )
シリアル通信 ( カメラオートフォーカス用 ) - SPC ( 検査結果アップロード )
検査結果データ、検査結果画像のアップロードが可能。
※データフォーマットカスタマイズおよび画像保存ストレージはオプションとなります。
PLC
- MITSUBISHI製
- パネル搬送、検査制御
- CIMホスト通信
- 上下流インターフェース
- ※インターフェース詳細はライン構成によりカスタマイズ可能。
本体部
- 鉄骨、角パイプ、型鋼。検査部架台は防振対策を実施。
- 非常停止スイッチ（ＮＣ型）、ドアスイッチ。（表面と裏面）
- タッチパネルディスプレイ： 三菱電機/Proface 1式 10.4”
- モニタディスプレイ：2式 24” ( 最小構成 )
- キーボード。
- ブザー
- シグナルタワー 3色
- バーコードリーダー ( KEYENCE製 ) ※オプション対応
環境監視部
- 空圧、真空圧異常検知センサー
- 電源断検知（ＵＰＳ内臓、シリアル接続）
- 各駆動機器位置検出センサー
驅動部
- 供給移載部（上流バッファ→ステージ ）X軸：リニアサーボモーター ( 1軸 ) Y軸：サーボモーター ( 1軸 )
- 排出移載部（上流バッファ→ステージ ）X軸：リニアサーボモーター ( 1軸 ) Y軸：サーボモーター ( 1軸 )
ステージ部
- Y軸/θ軸駆動部 サーボモーター ( 1軸 + 1軸 )
NG品排出コンベア
- ベルトコンベア ( 1軸 )
保障について
下記環境においての使用に限り保障期間は、貴社工場に納品後１年間とします。
但し、仕様以外の使用方法による不具合及び消耗品については除外します。
また、貴社の使用方法による問題である場合、災害による故障の修理などは有償とします。
- 取扱説明書に記載された条件による運転。
- 稼動時間 24時間/日 28-31日/月
- 操作説明書に記載された操作による運転。
- 設備の品種切替部品以外の分解を除く。
保障期間内においても、次の場合、保証責任は無いものとします。
- 貴社における操作・取扱上のミスに起因する故障・事故。
- 地震・水害などの不可抗力に起因する故障・事故。
- 本装置とは関係ない事故に起因する故障・事故。
- 弊社・貴社技術者以外によってなされた保守に起因する故障・事故。
但し、取扱説明書及び弊社の指示に従ってなされたものに基づく場合は除きます - 貴社で実施された改造や変更に起因する故障・事故。
- 定期点検の不実施、保守点検の不備に起因する故障・事故。
- 所定の使用方法以外での使用に起因する故障・事故
精度保障期限
- 納入後、３年間とします。
付属品・書類について
付属品（品種対応）
納入時に付帯
付属品（予備品）
納入時に付帯（価格入）
書類関係
- 取扱説明書 ( 日本語/中国語/英語 ）
- 出荷時の検査成績表
- 電気概略図面・機械概略図面
- 電気・機械使用品リスト
- メンテナンスマニュアル
- 消耗品リストと交換周期・価格表
- 主な購入品の取扱説明書 ( カメラ・バーコードリーダ・ＵＰＳ・ドライバー等 )